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光学轮廓仪能测参数

光学轮廓仪能测参数

光学轮廓仪技术指标   

1.   系统配置及功能 1.1 PSI(相位移测试模式) 1.2 VSI(垂直方向扫描测试模式) 

2.   不同放大倍率物镜:2.5X、10X、50X 

3。   气浮防震平台,一体化设计,保证最好的测试条件 

4.   200mm 全自动样品台,可程序化控制,样品可容纳大于300mm 

5。   可装配4个物镜的全自动物镜切换塔台,通过软件全自动更换物镜

6.   可装配3个目镜的全自动物镜切换塔台,通过软件全自动更换物镜 

7。   双LED光源,分别有白光和绿光光源,此设计能够避免使用绿光光源时, 使用滤镜的方式产生系统误差. 

8.   全自动调整干涉条纹 

9.   大面积缝合功能软件 

10。  噪音:RMS < 0.3 Å (垂直方向),框架式结构  

11.  Z方向测试范围0.1nm 到10mm 

12.  Z方向分辨率0。01nm Ra,RMS重现性0。004nmss 

13.  样品反光率<1 to 100% 

14.  垂直方向扫描速度 92。5微米/秒 

15.  倾斜调制范围,±6°(Tip/Tilt in the Head光学测量头整体调节) 

16。  闭环控制扫描:0。1nm 到10mm 全范围实现闭环扫描,而非压电陶瓷垂直 方向拼接方式,能够保证扫描的全范围精度. 

17.  自校准功能: 提供激光参比信号,实现仪器自校准,提高重复性,此设计能够 使得在测量过程中,具有可溯源装置,保证每个量程的精度,而非在某个量程的校准方式. 

18.  提供具备证书的标准样品:PSI 模式光滑平面 (SIC)

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